0
0
2573
Physical principles of the linewidth measurement of submicron relief structures
Авторы:
Novikov Jurij Alekseevič
Rakov Aleksandr Vasil
Rakov Aleksandr Vasil
Год:
1995
Язык:
–
Заглавие серии:
Preprint / Russ. acad. of sciences, General physics inst. Dep. on vibration . Solid state physics ; N 17
Описание:
Novikov Jurij Alekseevič, Rakov Aleksandr Vasil'evič Physical principles of the linewidth measurement of submicron relief structures / Yu.A. Novikov, A.V. Rakov. - M. : S.n., 1995. - 16 c. : ил. ; 21 см. - (Preprint / Russ. acad. of sciences, General physics inst. Dep. on vibration . Solid state physics ; N 17). - Библиогр.: с. 15-16
Рейтинг по отзывам:
4.5
Материалы:
Рубрики:
Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная → Параметры → Измерение
Примечания:
Библиогр.: с. 15-16
Дата создания:
2021-10-27 09:20:41
Соц. сети:
Важно
Пожалуйста, помогите актуализировать информацию
Загрузить фотографию актуальной обложки книги
Дополнить или обновить информацию о книге
