0
0
2980
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
Авторы:
Киреев Валерий Юрьевич
Данилин Борис Степанович
Кузнецов Владимир Иванович
Данилин Борис Степанович
Кузнецов Владимир Иванович
Год:
1983
Язык:
Русский
Страниц:
126
Заглавие серии:
Массовая библиотека инженера "Электроника" ; Вып. 36
Описание:
Киреев В.Ю., Данилин Б.С., Кузнецов В.И. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур / В.Ю. Киреев, Б.С. Данилин, В.И. Кузнецов. - М. : Радио и связь, 1983. - 126 с. : ил. ; 20 см. - (Массовая библиотека инженера "Электроника" ; Вып. 36). - Библиогр.: с. 121-125
Рейтинг по отзывам:
4.5
Материалы:
Рубрики:
–
Примечания:
Библиогр.: с. 121-125
Дата создания:
2021-05-08 06:05:17
Соц. сети:
Важно
Пожалуйста, помогите актуализировать информацию
Загрузить фотографию актуальной обложки книги
Дополнить или обновить информацию о книге
