Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"

1723

Купить

Краткое содержание:

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"

Name: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"
Rating: 4.5
ISBN: 978-5-9963-0032-7

Авторы:

Галперин Вячеслав Александрович
Данилкин Евгений Владимирович
Мочалов Алексей Иванович

Год:

2010

isbn:

978-5-9963-0032-7

Язык:

Русский

Страниц:

283

Описание:

Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов; под ред. д.т.н., проф. С. П. Тимошенкова. - Москва : Бином. Лаб. знаний, 2010. - 283 с. : ил., табл. ; 22 см. - Библиогр.: с. 275-280 (96 назв.)

Рейтинг по отзывам:

4.5

Материалы:

Реферат, Курсовая, ВКР/Диплом, Диссертация

Рубрики:

Интегральные схемы → Производство → Плазмохимические методы → Учебные издания для высших учебных заведений

Примечания:

Библиогр.: с. 275-280 (96 назв.)

ББК:

З844.15-060.14,0

Дата создания:

2020-01-05 01:12:07

Соц. сети:

Важно

Реставрация книги

Пожалуйста, помогите актуализировать информацию

Загрузить фотографию актуальной обложки книги

Дополнить или обновить информацию о книге

Реферат по теме Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"

Заказать реферат Узнать стоимость Скачать пример

Курсовая по теме Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"

Заказать курсовую Узнать стоимость Скачать пример

ВКР/Диплом по теме Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"

Заказать диплом Узнать стоимость Скачать пример

Диссертация по теме Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"

Заказать диссертацию Узнать стоимость Скачать пример

Заработать на знаниях по теме Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"

Заработать от 15 000 руб. до 150 000 руб.

Наличие в библиотеках

Название и адрес

Режим работы

Контактная информация

Телефон

Библиотека №15

Астраханская область, Астрахань городской округ, Астрахань, Трусовский район, АЦКК м-н
Тренёва, 13
Расположение на карте

санитарный день: последний вт месяца
Пн: 10:00-18:00
Вт: 10:00-18:00
Ср: 10:00-18:00
Чт: 10:00-18:00
Пт: 10:00-18:00
Вс: 10:00-18:00

Название и адрес

Режим работы

Контактная информация

Телефон

Солнышко в руках, библиотека №7

Мурманская область, Мурманск городской округ, Мурманск, Октябрьский округ
Капитана Буркова, 11/18
Расположение на карте

санитарный день: последний день месяца
Вт: 11:00-18:00
Ср: 11:00-18:00
Чт: 11:00-18:00
Пт: 11:00-18:00
Вс: 11:00-18:00

cdb-murmansk.ru
Вконтакте: https://vk.com/cdb_murmansk

+7 (8152) 44-16-75

Показать номер

Название и адрес

Режим работы

Контактная информация

Телефон

Библиотека им. Н.И. Полоруссова-Шелеби

Чувашская Республика, Новочебоксарск городской округ, Новочебоксарск, Восточный район
Коммунистическая, 28
Расположение на карте

Пн: 10:00-18:00
Вт: 10:00-18:00
Ср: 10:00-18:00
Чт: 10:00-18:00
Пт: 10:00-18:00
Вс: 10:00-16:00

+7 (8352) 73-77-35

Показать номер

Название и адрес

Режим работы

Контактная информация

Телефон

Детская библиотека №9

Архангельская область, Архангельск городской округ, Архангельск, Майская Горка округ, 8-й микрорайон
Первомайская, 4
Расположение на карте

санитарный день: последний чт месяца
Пн: 11:00-18:00
Вт: 11:00-18:00
Ср: 11:00-18:00
Чт: 11:00-18:00
Пт: 11:00-18:00
Вс: 11:00-17:00

arhlib.ru/vsyo-o-tsbs/biblioteki/detskaya-biblioteka-9
Вконтакте: https://vk.com/arhlib
Инстаграм: https://instagram.com/arhlib
Facebook: https://facebook.com/arhcbs
Твиттер: https://twitter.com/@arhlib

+7 (8182) 68-28-15

Показать номер

Название и адрес

Режим работы

Контактная информация

Телефон

Научная медицинская библиотека

Новгородская область, Новгородский район, Великий Новгород, Колмово
Павла Левитта, 2 к3
Расположение на карте

Пн: 08:30-17:00
Вт: 08:30-17:00
Ср: 08:30-17:00
Чт: 08:30-17:00
Пт: 08:30-17:00

Вконтакте: https://vk.com/club65060371

+7 (8162) 64-29-59

Показать номер

Название и адрес

Режим работы

Контактная информация

Телефон

Библиотека №10

Ярославская область, Ярославский район, Ярославль, Кировский район
Свободы, 27 к2
Расположение на карте

зимний период: пн-пт 10:00-18:00; сб 10:00-17:00
Пн: 09:00-18:00
Вт: 09:00-18:00
Ср: 09:00-18:00
Чт: 09:00-18:00
Пт: 09:00-18:00

csdbf10.ru

+7 (4852) 30-82-77

Показать номер

Название и адрес

Режим работы

Контактная информация

Телефон

Октябрьская библиотека №1

Нижегородская область, Бор городской округ, Бор, Октябрьский
Победы, 18
Расположение на карте

санитарный день: последний день месяца
Пн: 10:00-14:00 15:00-18:00
Вт: 10:00-14:00 15:00-18:00
Ср: 10:00-14:00 15:00-18:00
Чт: 10:00-14:00 15:00-18:00
Пт: 10:00-14:00 15:00-18:00
Вс: 10:00-16:00

+7 (83159) 4-97-61

Показать номер

Название и адрес

Режим работы

Контактная информация

Телефон

Детская библиотека №8, Невский район

Санкт-Петербург, Санкт-Петербург, Невский район, МО №49 "Невская застава"
Крупской, 37
Расположение на карте

санитарный день: последний чт месяца; июнь-август: пн-пт 10:00-18:00; сб выходной
Пн: 11:00-19:00
Вт: 11:00-19:00
Ср: 11:00-19:00
Чт: 11:00-19:00
Пт: 11:00-19:00
Сб: 10:00-18:00

nevcbs.spb.ru
Вконтакте: https://vk.com/detskaya_8

+7 (812) 560-12-63

Показать номер

Название и адрес

Режим работы

Контактная информация

Телефон

Детская библиотека им. Зои Космодемьянской

Ростовская область, Ростов-на-Дону городской округ, Ростов-на-Дону, Железнодорожный район, Западный
Портовая, 166
Расположение на карте

санитарный день: третий пн месяца
Пн: 09:00-17:00
Вт: 09:00-17:00
Ср: 09:00-17:00
Чт: 09:00-17:00
Пт: 09:00-17:00

www.donlib.ru
Вконтакте: https://vk.com/rostov_library
Facebook: https://facebook.com/donlib.ru
Твиттер: https://twitter.com/@cbsrostovskaya

+7 (863) 244-92-26 +7 (863) 211-16-81

Показать номер

Название и адрес

Режим работы

Контактная информация

Телефон

Библиотека им. Н.А. Добролюбова

Омская область, Омск городской округ, Омск, Кировский округ, Солнечный
Любинская 2-я, 2а
Расположение на карте

санитарный день: последний день месяца
Пн: 10:00-18:00
Вт: 10:00-18:00
Ср: 10:00-18:00
Чт: 10:00-18:00
Пт: 10:00-18:00
Вс: 10:00-18:00

www.lib.omsk.ru
Вконтакте: https://vk.com/lovebooks

+7 (3812) 71-03-11

Показать номер

Наличие в библиотеках

Название и адрес

Режим работы

Контактная информация

Телефон

Библиотека №15

санитарный день: последний вт месяца
Пн: 10:00-18:00
Вт: 10:00-18:00
Ср: 10:00-18:00
Чт: 10:00-18:00
Пт: 10:00-18:00
Вс: 10:00-18:00

Название и адрес

Режим работы

Контактная информация

Телефон

Солнышко в руках, библиотека №7

санитарный день: последний день месяца
Вт: 11:00-18:00
Ср: 11:00-18:00
Чт: 11:00-18:00
Пт: 11:00-18:00
Вс: 11:00-18:00

cdb-murmansk.ru
Вконтакте: https://vk.com/cdb_murmansk

+7 (8152) 44-16-75

Показать номер

Название и адрес

Режим работы

Контактная информация

Телефон

Библиотека им. Н.И. Полоруссова-Шелеби

Пн: 10:00-18:00
Вт: 10:00-18:00
Ср: 10:00-18:00
Чт: 10:00-18:00
Пт: 10:00-18:00
Вс: 10:00-16:00

+7 (8352) 73-77-35

Показать номер

Название и адрес

Режим работы

Контактная информация

Телефон

Детская библиотека №9

санитарный день: последний чт месяца
Пн: 11:00-18:00
Вт: 11:00-18:00
Ср: 11:00-18:00
Чт: 11:00-18:00
Пт: 11:00-18:00
Вс: 11:00-17:00

+7 (8182) 68-28-15

Показать номер

Название и адрес

Режим работы

Контактная информация

Телефон

Научная медицинская библиотека

Новгородская область, Новгородский район, Великий Новгород, Колмово
Павла Левитта, 2 к3
Расположение на карте

Пн: 08:30-17:00
Вт: 08:30-17:00
Ср: 08:30-17:00
Чт: 08:30-17:00
Пт: 08:30-17:00

Вконтакте: https://vk.com/club65060371

+7 (8162) 64-29-59

Показать номер

Название и адрес

Режим работы

Контактная информация

Телефон

Библиотека №10

Ярославская область, Ярославский район, Ярославль, Кировский район
Свободы, 27 к2
Расположение на карте

зимний период: пн-пт 10:00-18:00; сб 10:00-17:00
Пн: 09:00-18:00
Вт: 09:00-18:00
Ср: 09:00-18:00
Чт: 09:00-18:00
Пт: 09:00-18:00

csdbf10.ru

+7 (4852) 30-82-77

Показать номер

Название и адрес

Режим работы

Контактная информация

Телефон

Октябрьская библиотека №1

Нижегородская область, Бор городской округ, Бор, Октябрьский
Победы, 18
Расположение на карте

+7 (83159) 4-97-61

Показать номер

Название и адрес

Режим работы

Контактная информация

Телефон

Детская библиотека №8, Невский район

Санкт-Петербург, Санкт-Петербург, Невский район, МО №49 "Невская застава"
Крупской, 37
Расположение на карте

nevcbs.spb.ru
Вконтакте: https://vk.com/detskaya_8

+7 (812) 560-12-63

Показать номер

Название и адрес

Режим работы

Контактная информация

Телефон

Детская библиотека им. Зои Космодемьянской

санитарный день: третий пн месяца
Пн: 09:00-17:00
Вт: 09:00-17:00
Ср: 09:00-17:00
Чт: 09:00-17:00
Пт: 09:00-17:00

www.donlib.ru
Вконтакте: https://vk.com/rostov_library
Facebook: https://facebook.com/donlib.ru
Твиттер: https://twitter.com/@cbsrostovskaya

+7 (863) 244-92-26 +7 (863) 211-16-81

Показать номер

Название и адрес

Режим работы

Контактная информация

Телефон

Библиотека им. Н.А. Добролюбова

Омская область, Омск городской округ, Омск, Кировский округ, Солнечный
Любинская 2-я, 2а
Расположение на карте

санитарный день: последний день месяца
Пн: 10:00-18:00
Вт: 10:00-18:00
Ср: 10:00-18:00
Чт: 10:00-18:00
Пт: 10:00-18:00
Вс: 10:00-18:00

www.lib.omsk.ru
Вконтакте: https://vk.com/lovebooks

+7 (3812) 71-03-11

Показать номер

Рецензии и отзывы

Егор Петров

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника". В книге говорится о тех процессах, которые происходят в электронных устройствах и компьютерных программах, и которыми, в частности, обусловлено применение плазменных излучателей в

Азат Нагирян

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника". В книге говорится о современных методах создания нано- и микросистемной техники: о методах плазмохимического травления, ионном и электронном распылении, магнетронном напылении, о современных процессах в потоке нейтральных газов. Приведены сведения о способах получения наноразмерных пленок и покрытий, о микро- и наносистемах, об особенностях формирования систем с заданными свойствами. Подробно рассмотрены свойства наносистем.