0
0
1075
Плазмохимические методы синтеза диэлектрических слоев в полупроводниковой технологии : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1979-1986 годы)
Авторы:
Голиков Юрий Александрович
Смирнова Тамара Павловна
Соловьев Андрей Петрович
Смирнова Тамара Павловна
Соловьев Андрей Петрович
Год:
1986
Язык:
Русский
Страниц:
28
Заглавие серии:
Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника" . Серия 3 . Микроэлектроника ; Вып. 1233 Вып. 5
Описание:
Голиков Ю.А., Смирнова Т.П., Соловьев А.П. Плазмохимические методы синтеза диэлектрических слоев в полупроводниковой технологии : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1979-1986 годы) / Ю.А. Голиков, Т.П. Смирнова, А.П. Соловьев. - М. : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1986. - 28 с. : ил. ; 20 см. - (Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника" . Серия 3 . Микроэлектроника ; Вып. 1233 Вып. 5). - Библиогр.: с. 24-28
Рейтинг по отзывам:
4.5
Материалы:
Рубрики:
–
Примечания:
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР . - Библиогр.: с. 24-28
Дата создания:
2021-08-20 12:48:21
Соц. сети:
Важно
Пожалуйста, помогите актуализировать информацию
Загрузить фотографию актуальной обложки книги
Дополнить или обновить информацию о книге
