0
0
2340
Тонкие пленки двуокиси кремния, полученные методом высокочастотного ионно-плазменного распыления
Автор:
Шабалов Александр Львович
Год:
1986
Язык:
Русский
Страниц:
10
Заглавие серии:
Препринт / АН АзССР, Ин-т физики. Отд. "Микроэлектроника" СКБ "Теллур" с ОП ИФ АН АзССР ; № 178
Описание:
Шабалов А.Л. Тонкие пленки двуокиси кремния, полученные методом высокочастотного ионно-плазменного распыления / Шабалов А.Л., Фельдман М.О., Насиров О.Г. - Баку : СКБ "Теллур", 1986. - 10 с. : ил. ; 20 см. - (Препринт / АН АзССР, Ин-т физики. Отд. "Микроэлектроника" СКБ "Теллур" с ОП ИФ АН АзССР ; № 178). - Библиогр.: с. 8
Рейтинг по отзывам:
4.5
Материалы:
Рубрики:
–
Примечания:
Рез. на англ. яз. . - ДСП. Экз. № 000003 . - Библиогр.: с. 8
Дата создания:
2022-02-11 00:48:33
Соц. сети:
Важно
Пожалуйста, помогите актуализировать информацию
Загрузить фотографию актуальной обложки книги
Дополнить или обновить информацию о книге
