0
0
617
Реакторы для осаждения слоев кремния из газовой фазы : По данным отеч. и зарубеж. печати за 1967-1977 гг
Авторы:
Иванов Вадим Иванович
Сигалов Эдуард Борисович
Николайчик Николай Иванович
Сигалов Эдуард Борисович
Николайчик Николай Иванович
Год:
1977; Связанные записи
Язык:
Русский
Заглавие серии:
Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника" . Серия 7 . Технология, организация производства и оборудование
Описание:
Иванов В.И., Сигалов Э.Б., Николайчик Н.И. Реакторы для осаждения слоев кремния из газовой фазы : По данным отеч. и зарубеж. печати за 1967-1977 гг / [В.И. Иванов, Н.И. Николайкин, Э.Б. Сигалов]. - Москва : ЦНИИ "Электроника", 1977. - 21 см. - (Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника" . Серия 7 . Технология, организация производства и оборудование)
Рейтинг по отзывам:
4.5
Материалы:
Рубрики:
–
Дата создания:
2021-02-04 18:11:05
Соц. сети:
Важно
Пожалуйста, помогите актуализировать информацию
Загрузить фотографию актуальной обложки книги
Дополнить или обновить информацию о книге
