0
0
2397
Использование математического моделирования в исследовании, разработки и оптимизации фотолитографических процессов
Авторы:
Ивин В. В.
Махвиладзе Тариэль Михайлович
Махвиладзе Тариэль Михайлович
Год:
2000
Язык:
Русский
Страниц:
30
Заглавие серии:
Препринт / Физ.-технол. ин-т Рос. акад. наук ; N 22
Описание:
Ивин В. В., Махвиладзе. Использование математического моделирования в исследовании, разработки и оптимизации фотолитографических процессов / Ивин В. В., Махвиладзе Т. М. - М. : МАКС-пресс, 2000. - 30 с. : ил. ; 21 см. - (Препринт / Физ.-технол. ин-т Рос. акад. наук ; N 22). - Библиогр.: с. 28-30
Рейтинг по отзывам:
4.5
Материалы:
Рубрики:
Интегральные схемы → Производство → Фотолитографический метод → Авторефераты диссертаций
Примечания:
интегральные схемы . - Библиогр.: с. 28-30
ББК:
37.83
Дата создания:
2022-04-21 11:12:42
Соц. сети:
Важно
Пожалуйста, помогите актуализировать информацию
Загрузить фотографию актуальной обложки книги
Дополнить или обновить информацию о книге
