0
0
2734
Физико-химические и технологические основы проектирования и разработки процессов и оборудования сухого размерного травления функциональных слоев микросхем : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д. т. н
Автор:
Киреев Валерий Юрьевич
Год:
1991
Язык:
Русский
Страниц:
40
Описание:
Киреев В.Ю. Физико-химические и технологические основы проектирования и разработки процессов и оборудования сухого размерного травления функциональных слоев микросхем : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д. т. н / Моск. ин-т электрон. техники. - М., 1991. - 40 с. : граф. - Список работ авт.: с. 35-40
Рейтинг по отзывам:
4.5
Материалы:
Рубрики:
Интегральные схемы → Производство → Оборудование
Примечания:
ДСП. Экз. № 1 . - Список работ авт.: с. 35-40
Дата создания:
2021-09-28 05:23:55
Соц. сети:
Важно
Пожалуйста, помогите актуализировать информацию
Загрузить фотографию актуальной обложки книги
Дополнить или обновить информацию о книге
