0
0
799
Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоев кремния из газовой фазы
Авторы:
Барил Михаил Абрамович
Ирошников Юрий Петрович
Егорова Майя Филипповна
Ирошников Юрий Петрович
Егорова Майя Филипповна
Год:
1971
Язык:
Русский
Страниц:
27
Заглавие серии:
Обзоры по электронной технике . Серия: Микроэлектроника ; Вып. 332 № 8
Описание:
Барил М.А., Ирошников Ю.П., Егорова М.Ф. Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоев кремния из газовой фазы / М-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника". - Москва : Б. и., 1971. - 27 с., 4 л. табл. : ил. ; 22 см. - (Обзоры по электронной технике . Серия: Микроэлектроника ; Вып. 332 № 8). - Библиогр.: с. 25-26
Рейтинг по отзывам:
4.5
Материалы:
Рубрики:
–
Примечания:
Перед загл. авт.: М.А. Барил, Ю.П. Ирошников, Е.Ф. Егорова . - Библиогр.: с. 25-26
Дата создания:
2021-06-14 06:55:36
Соц. сети:
Важно
Пожалуйста, помогите актуализировать информацию
Загрузить фотографию актуальной обложки книги
Дополнить или обновить информацию о книге
